TSMC 2030 წელს დაიწყებს High-NA EUV ლითოგრაფიის გამოყენებას

წლების განმავლობაში TSMC თავს არიდებდა საჯარო კომენტარებს High-NA EUV ლითოგრაფიის გამოყენების გეგმებზე, რადგან კომპანიის დეველოპერებს კარგად ესმოდათ, როგორ განევითარებინათ პროცესის ტექნოლოგიები 400 მილიონი დოლარის სკანერების გარეშე.

თუმცა TSMC ვერ დაეყრდნობა Low-NA EUV სისტემებს სამუდამოდ, ამიტომ ამ კვირაში კომპანიამ გამოაცხადა High-NA EUV-ის გამოყენების გეგმები 2030 წლიდან.

TSMC-მა არ დაასახელა, რომელი წარმოების ტექნოლოგია იქნება პირველი, რომელიც გამოიყენებს High-NA EUV-ს, თუმცა 2030 წელი მიუთითებს რამდენიმე კანდიდატზე.

კომპანიამ თქვა, რომ High-NA EUV-ით დამუშავებული ფენების რაოდენობა საბოლოოდ გაიზრდება, რადგან წარმოების ტექნოლოგიები უფრო რთულდება ტრანზისტორების არქიტექტურების გართულების გამო.

TSMC 2030 წელს დაიწყებს High-NA EUV ლითოგრაფიის ხელსაწყოების გამოყენებას მაღალი მოცულობის წარმოებაში ჩვეულებრივი 6×6 ინჩიანი ფოტომასკებით.

კომპანია 2031 წელს ააშენებს საპილოტე ხაზს 6×12 ინჩიანი ფოტომასკებით და მიზნად ისახავს 6×12 ინჩიანი High-NA სისტემების წარმოებაში დანერგვას 2033 წლისთვის.

High-NA EUV ლითოგრაფიის ხელსაწყოებს შეუძლიათ მიაღწიონ 8 ნანომეტრიან ერთჯერადი ექსპოზიციის რეზოლუციას, მაშინ როცა დღევანდელი Low-NA EUV სისტემები გვთავაზობენ 13 ნანომეტრიან რეზოლუციას.

თუმცა ჩვეულებრივ 6×6 ინჩიან ფოტომასკებთან გამოყენებისას High-NA EUV სკანერებს აქვთ მხოლოდ ნახევარი ექსპოზიციის ველი Low-NA კოლეგებთან შედარებით.

ეს ქმნის გამოწვევებს ძალიან დიდი ჩიპების წარმოებისთვის.

შედეგად, მასიური AI ამაჩქარებლების მწარმოებლებმა უნდა შეაერთონ მრავალი ექსპოზიციის ველი ან გამოიყენონ მრავალჩიპიანი დიზაინები.

TSMC მუშაობს ASML-თან 6×12 ინჩიანი ფოტომასკების დანერგვის მოსამზადებლად.

ფოტომასკების ზომის შეცვლა მოითხოვს ცვლილებებს EDA პროგრამული უზრუნველყოფიდან დაწყებული მასკების წარმოების ხელსაწყოებამდე.

ASML ოპტიმისტურადაა განწყობილი ამ გადასვლის მიმართ, რადგან მას მხარს უჭერენ Intel, TSMC და Samsung.

„ჩვენ ველით, რომ High-NA EUV-ის მიღება პროგრესულად გაიზრდება მოწყობილობების მასშტაბირების გზაზე, ჯერ მიმდინარე 6 ინჩიანი მასკებით, შემდეგ კი 12 ინჩიანი მასკებით, რომლებიც უზრუნველყოფენ უფრო მაღალ პროდუქტიულობას და საშუალებას მისცემენ ინდუსტრიას დააკმაყოფილოს მოთხოვნა უფრო მცირე, სწრაფ და ენერგოეფექტურ ჩიპებზე“, განაცხადა ASML-ის პრეზიდენტმა და აღმასრულებელმა დირექტორმა კრისტოფ ფუკემ.